Termoelektrické procesní termostaty od -20 do 90 °C pro polovodičový průmysl

Rychlá a přesná regulace teploty pro složité procesy. Termoelektrické systémy LAUDA Semistat pro regulaci teploty jsou založeny na osvědčených principech přenosu tepla používaných u Peltierových prvků a nabízejí reprodukovatelnou regulaci teploty pro aplikace plazmového leptání.

Dynamická regulace teploty elektrostatického upínače destiček (ESC) umožňuje použití zařízení při všech typech leptacích procesů.

Tyto chytré systémy jsou energeticky úsporné a prostorově nenáročné, se stabilní regulací teploty, a jsou tak ideální pro výrobu stále menších komponů.

Přehled

Výhody a přidaná hodnota

• Systém bez kompresoru a chladiva s nízkou spotřebou energie
• Nejmenší plocha v oboru, ideální pro instalaci pod podlahu
• Extrémně malý objem teplonosné kapaliny

Pracovní rozsah

Systémy regulace teploty v místě použití (POU) mohou snížit spotřebu energie až o 90 % ve srovnání se systémy založenými na kompresoru. Minimální prostorové nároky s možností instalace pod podlahu v místě použití minimalizují využití čistých prostor. Rychlé a přesné řízení teplotních profilů procesu s přesností ±0,1 °C zlepšuje homogenitu mezi jednotlivými destičkami.